生产碳化硅设备

2021-08-31T02:08:35+00:00

技术碳化硅产业链条核心：外延技术知乎知乎专栏

碳化硅外延材料的主要设备，目前这个市场上主要有四家： 1、德国的Aixtron：特点是产能比较大； 2、意大利的LPE，属于单片机，生长速率非常大。 3、日本的TEL和Nuflare，其今年11月，上机数控在官微表示，公司在碳化硅切割领域取得了较大突破，自行研发的碳化硅切片设备获得成功，开辟了“碳化硅设备国产替代进口”的先河。截至目前订单量已接产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”腾讯新闻2020年10月21日 1碳化硅晶体生长及加工关键设备主要包括: 碳化硅粉料合成设备用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅粉料,高质量的碳化硅粉料在后续的碳化硅生长中对晶体质量有重要作用。主要技术难点：高温高真首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有

本土超20条碳化硅晶圆产线大盘点！知乎知乎专栏

据报道，项目计划投资建设碳化硅（SiC）功率器件生产研发中心，一期占地50亩，包含6英寸的碳化硅功率器件生产线与工艺研发平台，预计2021年设备进场安装和调试，2022年 1 天前全球碳化硅（SiC）设备供应商列表芯世相 16:29 0浏览 0评论 0点赞在整个碳化硅的生产流程里，晶圆衬底的长晶和外延，以及前道制造过程当中都有一些全球碳化硅（SiC）设备供应商列表电子工程专辑碳化硅替代硅基igbt：没门现在一些做硅基igbt的厂商也在担心碳化硅起来之后会不会影响其传统产品的销售。事实上，碳化硅与硅基igbt之间并不是替代关系。专门从事碳化硅器碳化硅降本、增量，路在何方？腾讯新闻

北方华创(SZ)：目前碳化硅设备在手订单充足，多种设备国

2023年5月31日北方华创 (SZ)：目前碳化硅设备在手订单充足，多种设备国内市场占有率处于领先位置格隆汇5月31日丨北方华创 (SZ)于2023年5月31日15:00 2023年5月25日 5、采用碳化硅微波烘干设备缩短生产周期，极大的减少生产流动资金占用。 6、微波碳化硅干燥设备温度在40℃以下，改善工人工作环境。旭通科技致力于烘干碳化硅烘干设备采用现代微波干燥技术知乎疯狂的禾苗 16 人赞同了该文章本文首发自公众号：价值盐选今天我们分析一下半导体产业链，这条产业链分为很多环节，比如材料、设备、芯片设计、芯片制造、封装测试。我们先来分析其中一种材料，叫做碳化硅 SiC。 01 SiC 基本情况及产业链这个碳化硅产业链最全分析知乎知乎专栏

碳化硅产品的应用方向和生产过程知乎知乎专栏

本文主要介绍碳化硅产品的应用方向和生产过程。应用方向车载领域，功率器件主要用在DCDC、OBC、电机逆变器、电动空调逆变器、无线充电等需要AC/DC快速转换的部件中（DCDC中主要充当快速开关）。图源：博格华纳相比硅基材料，碳化硅材料拥有更高的临界雪崩击穿场强（3×106V/cm）、更好的导热性能（49W/mK）和更宽的禁碳化硅化学气相沉积外延设备碳化硅外延设备属半导体设备领域，占据第三代半导体产业链上游关键环节。我司碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计，同时兼容6英寸、4英寸外延片生长，是一款工艺指标优异、耗材成本低、维护频率低的中国首台完全自主创新的碳化硅外碳化硅外延设备产品与技术纳设智能官方网站 Naso Tech2021年7月6日东兴证券认为，碳化硅材料具备突出的性能优势，可以有效提高功率器件的功率密度和效率，降低系统成本，对半导体产业有着全方位的带动。机构预计，2025年全球碳化硅功率器件市场规模将增长华为投资中国首家从事碳化硅外延片研发企业，第三代

碳化硅器件目前有什么生产难点？？知乎

虽然离子注入和退火的目的和传统器件制备没有什么区别，但是由于碳化硅材料的特性，退火的温度要高达1600摄氏度左右，在这么高的温度下，如何保证晶圆表面粗糙度，又要达到高的离子激活率和相对比较准确的P区形状是一个难点。 3 针对于碳化硅MOS器件 2022年12月15日中电科48所陆续开发出碳化硅外延设备、高温高能离子注入机、高温激活炉、高温氧化炉，并持续研发第二代、第三代机型，截至目前，其碳化硅设备已在生产线应用/签订合同百余台套。在封测设备方面，快克股份在11月举办的2022张江汽车半导体生态峰会上表示，公司看好SiC未来市场，并积极投入研发应用于SiC器件封装的银烧结设备。目产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”碳化硅替代硅基igbt：没门现在一些做硅基igbt的厂商也在担心碳化硅起来之后会不会影响其传统产品的销售。事实上，碳化硅与硅基igbt之间并不是替代关系。专门从事碳化硅器件生产的专家表示，两者都有自己比较舒适的应用领域。比如igbt在汽车领域竞争力碳化硅降本、增量，路在何方？腾讯新闻

北方华创(SZ)：目前碳化硅设备在手订单充足，多种设备国

2023年5月31日北方华创 (SZ)：目前碳化硅设备在手订单充足，多种设备国内市场占有率处于领先位置格隆汇5月31日丨北方华创 (SZ)于2023年5月31日15:0017:00召开业绩说明会，交流环节中，就“请问碳化硅应用设备有哪一些？今年订单如何？ ”，公司回复称，北方华 2023年5月25日 5、采用碳化硅微波烘干设备缩短生产周期，极大的减少生产流动资金占用。 6、微波碳化硅干燥设备温度在40℃以下，改善工人工作环境。旭通科技致力于烘干设备的研发生产已有多年历史，尤其是在碳化硅微波烘干机方面更是有很丰富的经验。另外很多地方都有我们的现场，您可以拨打或者碳化硅烘干设备采用现代微波干燥技术知乎石英产品陶瓷产品气相沉积碳化硅产品（CVDSiC) 硅加工件电子束蒸发枪电子束蒸发镀膜装置半导体硅片再生晶圆设备配件洗净单晶硅棒拉晶设备石英坩埚电子器件产品磁性流体热电半导体产品功率半导体基板太阳 Ferrotec全球气相沉积碳化硅产品（CVDSiC)

产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”icspec

2022年12月15日在外延设备方面，晶盛机电表示，公司生产的SiC碳化硅外延设备为公司独立研发设计和生产制造，核心技术均拥有独立的知识产权，目前已实现批量销售。季华实验室也在4月表示，由季华实验室大功率半导体研究团队自主研发的6英寸SiC高温外延装备，取得突破性进展。该设备核心部件全部采用国产碳化硅化学气相沉积外延设备碳化硅外延设备属半导体设备领域，占据第三代半导体产业链上游关键环节。我司碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计，同时兼容6英寸、4英寸外延片生长，是一款工艺指标优异、耗材成本低、维护频率低的中国首台完全自主创新的碳化硅外碳化硅外延设备产品与技术纳设智能官方网站 Naso Tech2021年7月6日东兴证券认为，碳化硅材料具备突出的性能优势，可以有效提高功率器件的功率密度和效率，降低系统成本，对半导体产业有着全方位的带动。机构预计，2025年全球碳化硅功率器件市场规模将增长华为投资中国首家从事碳化硅外延片研发企业，第三代

碳化硅器件目前有什么生产难点？？知乎

提到碳化硅（SiC），人们的反应是其性能优势，如电气（更低阻抗/更高频率）、机械（更小尺寸）和热性质（更高运行温度），非常适合制造很多大功率电子器件；如果说到应用，大多数人都会说它成本太高，推广起来需假以时日，云云。事实上，在一些有性能、效率、体积、散热，甚至系统成本要求的应用中，SiC器件已开始在取代硅。成本走低大 2017年4月21日中国碳化硅冶炼的生产工艺、技术装备和单吨能耗都达到世界领先水平。黑、绿碳化硅原块的质量水平也属世界级。但是与国际相比，中国碳化硅的成产还存在以下问题：（1）生产设备不先进，很多工序简述碳化硅的生产制备及其应用领域中国粉体网碳化硅替代硅基igbt：没门现在一些做硅基igbt的厂商也在担心碳化硅起来之后会不会影响其传统产品的销售。事实上，碳化硅与硅基igbt之间并不是替代关系。专门从事碳化硅器件生产的专家表示，两者都有自己比较舒适的应用领域。比如igbt在汽车领域竞争力碳化硅降本、增量，路在何方？腾讯新闻

北方华创(SZ)：目前碳化硅设备在手订单充足，多种设备国

2023年5月31日北方华创 (SZ)：目前碳化硅设备在手订单充足，多种设备国内市场占有率处于领先位置格隆汇5月31日丨北方华创 (SZ)于2023年5月31日15:0017:00召开业绩说明会，交流环节中，就“请问碳化硅应用设备有哪一些？今年订单如何？ ”，公司回复称，北方华 2023年5月25日 5、采用碳化硅微波烘干设备缩短生产周期，极大的减少生产流动资金占用。 6、微波碳化硅干燥设备温度在40℃以下，改善工人工作环境。旭通科技致力于烘干设备的研发生产已有多年历史，尤其是在碳化硅微波烘干机方面更是有很丰富的经验。另外很多地方都有我们的现场，您可以拨打或者碳化硅烘干设备采用现代微波干燥技术知乎2023年5月25日项目名称：碳化硅功率器件的研发和产业化项目实施主体：广微集成技术（深圳）有限公司项目总投资：39,82400 万元本项目拟通过与晶圆代工厂共同投入资源合作建立碳化硅晶圆生产专项目建设内容线，主要从事面向新型能源供给的 600V1700V 碳化碳化硅功率器件的研发和产业化项目可行性研究报告光伏二极管